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在半導(dǎo)體和液晶面板制造等行業(yè),表面缺陷檢測(cè)是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。山田光學(xué)(YAMADA)的高亮度鹵素光源裝置YP-150ID/YP-150I,正是為此而設(shè)計(jì)的宏觀觀察設(shè)備。為了幫助您全面了解并正確選型,我為您準(zhǔn)備了這份詳細(xì)的選型指南。
山田光學(xué)的YP-150I系列高亮度鹵素光源裝置,專(zhuān)為檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓、液晶基板等產(chǎn)品表面的異物、劃痕、拋光不均、霧度等細(xì)微缺陷而設(shè)計(jì)。其核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
超高照度與均勻照明:YP-150I能在樣品表面提供超過(guò)400,000 Lux的照度。它采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,具有高色溫和低照明不均勻性的特點(diǎn),能提供穩(wěn)定且銳利的照明效果,便于識(shí)別最細(xì)微的缺陷。
先進(jìn)的冷鏡技術(shù):設(shè)備使用了冷反射鏡,能將熱能影響降至傳統(tǒng)鋁鏡的約三分之一。這對(duì)于檢測(cè)熱敏感材料至關(guān)重要,能有效避免樣品因過(guò)熱而損傷。
靈活的操作模式:具備高/低兩檔照度一鍵切換功能。您無(wú)需調(diào)整檢測(cè)距離,即可根據(jù)不同的缺陷類(lèi)型和觀察需求,快速選擇最合適的照明強(qiáng)度。
為了方便您比對(duì),以下是YP-150I及其同系列型號(hào)YP-250I的核心參數(shù)表格。
| 參數(shù)項(xiàng)目 | YP-150I | YP-250I | 
|---|---|---|
| 照射范圍 | φ30 mm | φ60 mm | 
| 照射距離 | 140 mm | 220 mm | 
| 核心照度 | ≥ 400,000 Lx | ≥ 400,000 Lx | 
| 所用燈具 | JCR15V150W | ELC24V250W | 
| 燈具壽命 | 約50小時(shí) | 約35小時(shí) | 
| 電源與功耗 | AC100V, 50/60Hz, 約200W | AC100V (可對(duì)應(yīng)200V), 約350W | 
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | 強(qiáng)制風(fēng)冷(可選風(fēng)扇類(lèi)型) | 
了解技術(shù)細(xì)節(jié)后,如何將其與您的實(shí)際需求匹配是關(guān)鍵。
小型、高精度檢測(cè):其φ30mm的照射范圍非常適合集中檢查小尺寸半導(dǎo)體晶圓(如8英寸及以下)的關(guān)鍵區(qū)域,或液晶基板上的微型電路。
對(duì)操作空間有要求的場(chǎng)景:相對(duì)更小的體積和重量,使其在緊湊的工作環(huán)境中也能靈活安裝和使用。
預(yù)算敏感型項(xiàng)目:燈具和整體功耗相對(duì)更低,有助于控制長(zhǎng)期的運(yùn)營(yíng)成。
大面積、高效率檢測(cè):φ60mm的照射范圍能夠覆蓋更大尺寸的基板(如8英寸晶圓),單次觀察面積更大,有助于提升檢測(cè)效率。
產(chǎn)線連續(xù)作業(yè):雖然功耗更高,但更強(qiáng)的冷卻系統(tǒng)(可選管道風(fēng)扇或螺旋槳風(fēng)扇)有助于在長(zhǎng)時(shí)間高負(fù)荷運(yùn)行中維持設(shè)備穩(wěn)定性。
明確檢測(cè)對(duì)象與精度要求
檢什么? 是半導(dǎo)體晶圓還是液晶玻璃基板?具體的材料類(lèi)型和對(duì)熱量的敏感度如何?
查多細(xì)? 需要檢測(cè)的缺陷最小尺寸是多少?這直接關(guān)系到對(duì)400,000 Lux照度和光照均勻性的依賴(lài)程度。
評(píng)估檢測(cè)效率與覆蓋范圍
您的產(chǎn)線節(jié)拍要求是怎樣的?如果追求單次大面積掃描,YP-250I的φ60mm照射范圍會(huì)更高效。如果只是針對(duì)特定區(qū)域進(jìn)行精細(xì)排查,YP-150I則更專(zhuān)注。
考量工作環(huán)境與成本
安裝空間:核對(duì)一下設(shè)備尺寸,確保您的檢測(cè)臺(tái)有足夠空間安裝和操作。
總擁有成本:除了設(shè)備售價(jià),還需考慮耗材成本。鹵素?zé)魹橄钠?,YP-150I的燈具壽命約50小時(shí),YP-250I約35小時(shí),需定期更換。此外,電力消耗也是一個(gè)長(zhǎng)期因素。
關(guān)注燈具壽命:鹵素?zé)袅炼葧?huì)隨使用時(shí)間衰減,建議定期更換以保證最佳檢測(cè)效果。記錄使用時(shí)間很重要。
善用照度切換:靈活使用高、低兩檔照度切換功能。高照度用于尋找極細(xì)微瑕疵,低照度有時(shí)能更清楚地觀察某些特定類(lèi)型的劃痕或霧度。
確保良好散熱:盡管采用了冷鏡技術(shù),保證設(shè)備周?chē)L(fēng)良好、定期清理風(fēng)扇濾網(wǎng),對(duì)于維持設(shè)備性能和使用壽命至關(guān)重要。
選擇山田光學(xué)的強(qiáng)光燈,本質(zhì)上是為您的檢測(cè)工藝匹配最合適的“眼睛"。
若您主要從事小尺寸、高精度的缺陷檢測(cè),且對(duì)運(yùn)營(yíng)成本和空間較為敏感,YP-150I是性?xún)r(jià)比高的選擇。
若您的產(chǎn)線處理較大尺寸的基板,并追求更高的檢測(cè)效率,那么YP-250I更能滿(mǎn)足您的需求。